NLS系列窄薄型线性精密位移台

追求极致窄薄型式，电机下沉降低台体高度，高分辨率五相步进电机驱动，超静音抗蠕变滚珠轴承具有出色的平直度和平整度，集成卓越的50nm分辨率光栅，确保运动具有高度的可重复性和精度，全行程绝对位置定位，高强度材料和硬质表面热处理保证长期强度和稳定性。

CLS系列紧凑型线性精密位移台

最求极致紧凑设计的密传动高精密线性平台，高扭矩五相步进电机驱动，集成卓越的50nm分辨率光栅，确保运动具有高度的可重复性和精度，全行程绝对位置定位，优选的硬质材料和表面处理工艺保证长期使用强度和稳定性。

PLS系列双轴线性精密位移台

卓越设计的X-Y一体化组合机构，整体结构紧凑，双轴均采用高分辨率光栅反馈，高扭矩五相步进电机驱动，具有极高的运动重复精度和绝对定位精度。