产品中心

PLS系列双轴线性精密位移台




 

→紧凑、薄型、高重复性设计 →标配纳米级光栅,双向重复精度为100nm
→全行程绝对位置定位,无需回零 → 配备SMD高集成控制器,达到极致便携应用
→适用于半导体、工业及科研中扫描、点到点应用 →极具性价比的纳米级定位平台
→均有独立可靠的精度检验认证报告


规格表

PLS-50DS

PLS-100DS PLS-150DS
行程范围 50mm 100mm 150mm
最大速度 15mm/s 15mm/s 15mm/s
最小位移量 50nm 50nm 50nm
中心负载能力 150N 150N 150N
轴向负载能力 25N 25N 25N
双向重复精度 ±0.10 µm ±0.10 µm ±0.10 µm
精度 ±0.30 µm ±0.30 µm ±0.30 µm
原点重复精度 ±0.050 µm ±0.050 µm ±0.050 µm
重量 2kg 2kg 2kg



 

电话:010-12345678

传真:010-12345678

邮箱:
info@micro-epsilon.com.cn

邮编:100081

地址:北京市海淀区中关村南大街9号理工科技大厦1319室

版权所有:至新自动化(北京)有限公司 京ICP备2023006204号

在线留言 相关资讯 技术支持: 至新自动化