| 产品中心 |
PLS系列双轴线性精密位移台
| →紧凑、薄型、高重复性设计 | →标配纳米级光栅，双向重复精度为100nm |
| →全行程绝对位置定位，无需回零 | → 配备SMD高集成控制器，达到极致便携应用 |
| →适用于半导体、工业及科研中扫描、点到点应用 | →极具性价比的纳米级定位平台 |
| →均有独立可靠的精度检验认证报告 |
| 规格表 |
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PLS-50DS |
PLS-100DS | PLS-150DS | |
| 行程范围 | 50mm | 100mm | 150mm |
| 最大速度 | 15mm/s | 15mm/s | 15mm/s |
| 最小位移量 | 50nm | 50nm | 50nm |
| 中心负载能力 | 150N | 150N | 150N |
| 轴向负载能力 | 25N | 25N | 25N |
| 双向重复精度 | ±0.10 µm | ±0.10 µm | ±0.10 µm |
| 精度 | ±0.30 µm | ±0.30 µm | ±0.30 µm |
| 原点重复精度 | ±0.050 µm | ±0.050 µm | ±0.050 µm |
| 重量 | 2kg | 2kg | 2kg |
电话：010-12345678
传真：010-12345678
邮箱：info@micro-epsilon.com.cn
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