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LM-COD-3A50龙门式精密位置系统
→行程50mm x 50mm x 50mm | →标配纳米级光栅,三轴超高定位精度 |
→全行程绝对位置定位,无需回零 | → 集成控制器,达到极致便携应用 |
→适用于半导体、科研中扫描、点到点应用 | →极具性价比的纳米级三轴定位平台 |
规格表 |
型号 |
LM-COD-3A50 |
行程范围X x Y x Z | 100mm x 100mm x 300mm |
最大速度 | 15mm/s |
最小位移量 | 50nm |
台面负载能力 | 150N |
垂直负载能力 | 25N |
双向重复精度 | ±0.10 µm |
精度 | ±0.30 µm |
原点重复精度 | ±0.050 µm |
重量 | 18kg |
外形尺寸:长x 宽x 高 | 300mm x 375mm x 385mm |
电话:010-12345678
传真:010-12345678
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