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LM-COD-3A50龙门式精密位置系统
| →行程50mm x 50mm x 50mm | →标配纳米级光栅，三轴超高定位精度 |
| →全行程绝对位置定位，无需回零 | → 集成控制器，达到极致便携应用 |
| →适用于半导体、科研中扫描、点到点应用 | →极具性价比的纳米级三轴定位平台 |
| 规格表 |
| 型号 |
LM-COD-3A50 |
| 行程范围X x Y x Z | 100mm x 100mm x 300mm |
| 最大速度 | 15mm/s |
| 最小位移量 | 50nm |
| 台面负载能力 | 150N |
| 垂直负载能力 | 25N |
| 双向重复精度 | ±0.10 µm |
| 精度 | ±0.30 µm |
| 原点重复精度 | ±0.050 µm |
| 重量 | 18kg |
| 外形尺寸：长x 宽x 高 | 300mm x 375mm x 385mm |
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传真：010-12345678
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