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LM-COD-3A50龙门式精密位置系统




 

→行程50mm x 50mm x 50mm →标配纳米级光栅,三轴超高定位精度
→全行程绝对位置定位,无需回零 → 集成控制器,达到极致便携应用
→适用于半导体、科研中扫描、点到点应用 →极具性价比的纳米级三轴定位平台


规格表

型号

LM-COD-3A50

行程范围X x Y x Z 100mm x 100mm x 300mm
最大速度 15mm/s
最小位移量 50nm
台面负载能力 150N
垂直负载能力 25N
双向重复精度 ±0.10 µm
精度 ±0.30 µm
原点重复精度 ±0.050 µm
重量 18kg
外形尺寸:长x 宽x 高 300mm x 375mm x 385mm



 

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